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专利介绍
微电子机械正交双通道微波相位在线检测器及其制备方法
专利编号
zl 200710021136.0
专利所有
东南大学
发 布 者
个人
专利展示
专利描述
微电子机械正交双通道微波相位在线检测器及其制备方法使得测量信号的幅度变大、测量信号的频带变宽、可测相位为整个周期、不需要消耗直流功率,且便于集成,该在线检测器以砷化镓为衬底(1),在衬底上有功率分配器、功率合成器、90°移相器、固支梁结构,功率分配器、功率合成器由共面波导构成的端口一(7)、端口二(8)、端口三(9)、不对称共面带线(10)、氮化钽电阻(2)组成;固支梁结构包括信号输入端口(16)、桥墩(5)、固支梁(13)、支撑结构(6)、传感电极(4)、传感电极引线(12)、电容检测端口(15)、空气桥(14)组成,在固支梁下方的传输线、支撑结构、传感电极及空气桥下方的传感电极引线的上方有氮化硅介质层(11)。
发布日期
2010-07-07
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